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ASTM F390-2011用共線四探針法測定金屬薄膜的薄膜電阻的標準試驗方法

發布時間: 2023-08-24 12:37:51 點擊: 1556
ASTM F390-2011用共線四探針法測定金屬薄膜的薄膜電阻的標準試驗方法
ASTM F390-2011是一個標準的試驗方法,用于使用共線四探針法測定金屬薄膜的薄膜電阻。以下是該方法的基本概述:
準備設備:需要準備共線四探針測量設備、金屬薄膜樣品、夾具、電源、信號發生器、測量儀表等。
樣品制備:制備金屬薄膜樣品,確保其表面平整、無瑕疵,并滿足試驗要求。
探針的放置:將共線四探針按要求放置在金屬薄膜樣品的表面上,確保探針間距準確且相互平行。
電源連接:將電源連接到共線四探針測量設備的輸入端,并將信號發生器連接到輸出端。
測試信號的施加:通過共線四探針測量設備向金屬薄膜樣品施加測試信號,例如直流電壓或交流電壓。
電阻測量:通過測量儀表讀取探針間的電壓降,并根據探針間距計算出金屬薄膜的薄膜電阻。
數據記錄和處理:記錄試驗過程中的數據,例如測試信號的波形、探針間的電壓降、計算的薄膜電阻等。
重復試驗:為了獲得更準確的結果,可以重復進行試驗,并取平均值。
需要注意的是,該方法的具體步驟和要求可以在ASTM F390-2011標準中詳細查閱。
共線四探針法是一種用于測量薄膜電阻的測試方法。該方法的基本原理是,在薄膜表面上使用四個探針按一定間距排列,施加測試信號,并通過測量探針間的電壓降來計算薄膜電阻。共線四探針法主要應用于半導體行業,用于測量半導體薄膜的電阻率。
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