FT-351高溫四探針電阻率測試系統
發布時間： 2023-06-01 10:31:23 點擊： 5993
FT-351高溫四探針電阻率測試系統詳情介紹
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統與高溫箱結合
2. 配置高溫四探針測試探針治具
3. PC軟件對數據的處理和測量控制.
4. 量程測試范圍.
應用說明：
半導體材料的電導率對溫度變化測量要求，測控軟件實時繪制出溫度與電阻，電阻率，電導率數據的變化曲線圖譜，及過程數據值的報表分析.
適用行業：Applicable industry:
用于：企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計符合單晶硅物理測試方法
標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
型號及參數Models and technical parameters：
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規格型號Models |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
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1.方塊電阻范圍sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-6～2×105Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
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2.電阻率范圍resistivity range |
10-6～2×106Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
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3.測試電流范圍test current range |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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4.電流精度current accuracy |
±0.1%讀數 |
±0.1讀數 |
±2% |
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5.電阻精度resistance accuracy |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
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PC軟件界面 PC software interface |
顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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7.測試方式test mode |
雙電測量Double electrical measurement |
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8.四探針儀工作電源working power |
AC 220V±10%.50Hz <30W
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9.誤差errors |
≤3%（標準樣片結果 standard samples） |
≤15% |
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溫度(選購)Highest temperature (choose and buy) |
常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
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氣氛保護（氣體客戶自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) |
常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. |
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溫度精度 Temperature precision |
沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 control precision：±1°C |
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升溫速度： rate of temperature increase |
常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes |
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高溫材料 High temperature material |
采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder |
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PC軟件 PC software |
測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數據！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! |
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電極材料 Electrode materials |
鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode |
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探針間距 The probe spacing |
直線型探針，探針間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter |
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標配外（選購）： Except standard configuration (optional) |
電腦和打印機1套；2.標準電阻1-5個； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs |
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高溫電源： High temperature power |
供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW |
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整機工作原理
方塊電阻測試時電流量程選擇表
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方塊電阻（Ω/□） |
電流量程 |
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0---1.2 |
100mA |
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1---25 |
10 mA |
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20---250 |
1 mA |
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200---2500 |
100μA |
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2000---25000 |
10μA |
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20000---250000 |
1μA |
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>200000 |
0.1μA |
方阻測試時根據用戶所選擇的電壓測量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測試的時候一直是6V
四探針測試方法
1.四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據物理基礎和電學原理：
當電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：
操作流程及步驟
1.系統連接：將各個部件及控制系統、電源及USB通訊接口接通；
2.調通系統的連接是否正常，可以從PC軟件及電阻率測試儀上的數據變化看出.
3.在高溫箱體上分段設定所需要溫度，當然也可以不分段而設定一個溫度.具體高溫箱體儀表操作請查看《溫度儀表操作手冊》.
4.待樣品通過高溫夾具進入高溫箱體.
5.開啟惰性氣體輸入閥門.
6.溫度實時上升過程中，樣品阻值實時曲線變化.
7.帶溫度達到設定值時，自動停止加熱.
8.測試完畢，關閉高溫電源，帶10-20分鐘后.
9.通過高溫手套，移動夾具上升離開高溫箱體.
10.用鑷子取出樣品.
PC軟件界面圖：
部分客戶案例：
河南大學
鄭州航空航天學院
南京航空航天大學
內蒙古科技大學
西南科技大學
宜賓學院
北京理工大學
優點介紹
1. 精度四探針測試儀匹配
2. 集成系統
3. 溫度達到1600度.
4. PC軟件實時數據處理及分析.
5. 具有保護氣體功能.
服務項目
1.質保：12個月，長期維護.
2.培訓：操作培訓：
電話教學；U盤教學文件；遠程可視溝通；現場教學；說明書教學文件
3.保養和維護：
提供因知保養和維護文件、標識、表格 、保養提醒.
4.驗證文件：
3Q驗證文件、計量證書
5.擴展服務：
延保服務，樣品測試服務，后延服務，儀器租賃服務.
